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激光干涉仪

SJ6000激光干涉仪

 

 

 

 

产品型号:SJ6000

测量方式:单频

稳频精度:±0.05ppm

测量精度:±0.5ppm0-40)℃

线性测量距离:(0-80m

测量分辨率:1nm

动态采集频率:50KHz

工作温度范围:(0-40)℃

环境温度范围:(0-40)℃,环境湿度:0-95%

主要特点:应用范围广、测量精度高、操作方便

 

详细信息

一、产品简介

  激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的高精度、高灵敏度检测设备,在高端制造领域应用广泛。

  SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术,实现快速(6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出;采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量;结合相应镜组还能实现角度、直线度(平行度)、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量,并进行动态分析。

  SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对线性、角度、平面度、直线度(平行度)、垂直度、回转轴等参数的精密测量,并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析。

  在相关软件的配合下,可自动生成误差补偿方案,为设备误差修正提供依据。

二、工作原理

  激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

  若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。


三、功能特点

  测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨力可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。

  具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。

  可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为机床误差修正的提供依据。

  具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线) 及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测量与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析等。

  内置国内外通用的标准,含国标(GB) ISO(国际) BS(英制) 、美标、DIN(德标) JIS(日标)10份 。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。

  可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动进行环境补偿。

  测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到WordExcel文档。

   安装方便:基本重量为15kg,简单便携。 

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