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大尺寸检测显微镜

适用于大尺寸样品的 Axio Imager Vario

ZEISS Axio Imager Vario

检测大尺寸样品 – 拥有自动聚焦系统

Axio Imager Vario 专为研究、开发及质量控制领域中的样品检测而设计 – 从最小的 MEMS 传感器到超大晶圆。最高可达 254 mm 的超大样品空间和最宽可达 300 mm 的横向纵向移动范围，保证了在测量大样品时不损坏样品。一体的机柱设计确保了稳定性。利用驱动 Z 轴的电动马达与 Auto Focus 自动聚焦硬件，将低对比度的反射样品自动调整至最佳聚焦位置，始终呈现理想的检测结果。

更简单、更智能、更高度集成。

扩展样品空间

两种手动和一种电动机柱可供选择，充分利用显微镜最大 300 mm 横向与纵向移动距离和最高254 mm 垂直深度的优势。无论是检测较重的样品，或与 LSM 700 激光扫描显微镜组合使用 –结实的机柱使其具有稳定性高和无震动的特点。选择适用于反射光与透射光的各种载物台及样品夹，让您的应用扩展无极限。

随时实现精准自动聚焦

集成有 Auto Focus 快速自动聚焦硬件系统的Axio Imager Vario 可用于高反射、低对比度样品的表面检测。聚焦系统能够保证聚焦精度达到所使用物镜景深的 0.3 倍，且适用于反射光与透射光应用。当传感器检测到聚焦位置发生微小变化时，系统快速自动补偿偏差。即便是大尺寸样品，在 XY 方向上也能实现精准聚焦。

自动聚焦功能

集成有 Auto Focus 自动聚焦硬件系统的 Axio Imager Vario 能够在高达 12000 µm 的焦点捕获范围内实现快速精准的聚焦。该自动聚集硬件适合于使用反射光、透射光、明场、暗场、偏光、微分干涉相差及斜照明观察方式的应用。