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光学显微镜

        光学显微镜具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。最大支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。

 

多档分光比观察头设计

 

观察筒,采用宽光束成像系统设计,支持26.5mm 超宽视野观察,带给您大视野体验。两档式正像铰链三目观察筒,保证样品的移动方向与您通过目镜观察到的方向一致,使操作更加得心应手。三档式铰链三目观察筒,在成像光线100% 用于双目观察或三目摄影的基础上,增加一档20% 用于双目观察,80% 用于显微摄影,方便用户同时对镜下图像与视频图像进行对比观察;
 偏振系统
        偏振系统包括起偏器和检偏器,可做偏光检测,在半导体和PCB 检测中,可消除杂光,细节更清楚。检偏器分为固定式检偏器和360 度旋转式检偏器。360°旋转式检偏器可在不移动标本的情况下,方便的观察标本在不同偏振角度光线下呈现的状态。可在偏振系统的基础上加载微分干涉器,建立诺曼尔斯基微分干涉衬比系统。
诺曼尔斯基微分干涉衬比系统
                U-DICR 微分干涉组件,可以将明场观察下无法检测的细微高低差,转化为高对比度的明暗差并以立体浮雕形式表现出来,如LCD 导电粒子,精密磁盘表面划痕等。
物镜转换器,多孔可选
多孔物镜转换器可以对同一个标本的观测点进行连续的更加合理的低、中、高放大倍率观察。物镜转换器将光轴与转动轴之间的夹角降低到15°,提高了对中精度和齐焦精度,且外观更加紧凑。
 
 
 
技术参数
光学系统
无限远色差校正光学系统
观察头
三目观察筒 ,45°倾斜 , 铰链组可 360°旋转 , 固定式目镜筒 , 瞳距调节范围 50-75mm, 两档式分光比 :双目 : 三目 =100 :0 或 0 :100
目镜
高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm, 视度可调,可带测微尺
 
高眼点大视野平场目镜 PL15X/16mm, 视度可调
物镜
无限远长工作距平场消色差金相物镜 5X、10X、20X、50X、100X
 
无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜 5X、10X、20X、50X、100X
物镜转换器
内定位 5 孔明场转换器(带 DIC 插槽),内置倍率传感器
 
内定位 5 孔明暗场转换器(带 DIC 插槽),内置倍率传感器
机架
反射明暗场金相机架 , 采用低手位粗微调同轴 , 粗调行程 9mm, 焦面向上 6.5mm, 向下 2.5mm, 微调精度 0.002mm, 带有防止下滑的松紧调节手轮
 
带明暗场切换装置 , 带可变视场光阑、孔径光阑,中心均可调;带滤色片插槽与偏光装置插槽 , 带灯源亮度指示条,带红外感应和物镜倍率显示功能
照明系统
采用外置式宽电压变压器 , 输入 100-240V, 输出 15V13.4A, 亮度连续可调
载物台
三层机械移动平台,平台尺寸 :240(W)×250(L),移动范围 50×50mm,双向线轨传动,右手低手位控制
摄影摄像附件
0.35X、0.5X、0.65X、1X,C 型接口,可调焦
其他
起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 ; DIC 微分干涉组件 ;滤色片组 ;高精度测微尺

 

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